Приборы измерения давления семейства HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции была разработанна для специальных требований, предъявляемых к технологическому оборудованию и систем распределения особо чистых химических сред.
Датчик давления HYDRA-Dry обеспечивает высокую точность и надежность всех особо чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Отсутствует заполняющая жидкость, что позволяет избежать вероятности загрязнения процесса.
Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении с 100 классом чистоты.
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение датчика давления и измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как испарения плавиковой кислоты HF или хлороводорода HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.
Диапазоны давления | 0 … 2.5 до 0 … 6 бар |
Технологическое присоединение | Резьбовое |
Погрешность | ≤ 0.5% |
Диапазон допустимых температур | +5 ... +60 |
Пылевлагозащита | IP 67 |
Выходной сигнал | 4 … 20 |
Размер: 389,8 Кб
Размер: 231,8 Кб